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  • CMP Orbis

    Orbis CMP system

    O sistema Logitech Orbis CMP é uma ferramenta CMP de piso com engenharia de precisão, ideal para ambientes de P&D. Normalmente, o Orbis CMP System é usado em aplicações que conduzem testes de produção piloto com recursos analíticos ideais e desempenho de processamento aprimorado.

    Orbis CMP é uma ferramenta CMP de piso com engenharia de precisão, ideal para ambientes de P&D

    Os recursos do sistema podem ser adaptados para incluir:

    • Fabricação de circuitos integrados de back-end,
    • Fabricação de sistemas microeletromecânicos (MEMS),
    • Opto-MEMS
    • Fabricação de Bio-MEMS.
    • Solução de baixo custo – resultados de alto valor

    A capacidade de conduzir testes de processo piloto normalmente requer sistemas de nível de produção caros, mas o Orbis alcança essa capacidade em um sistema de baixo custo. Incorporando recursos aprimorados e funcionalidade de alta tecnologia, o Orbis CMP System atinge recursos de processamento superiores aos normalmente oferecidos em um sistema deste tamanho.

    Uso flexível da operação

    Além de sua capacidade de replicar ambientes de nível de produção, o Orbis também é adequado para uso de P&D mais tradicional. Isso inclui a produção de pequenos lotes e testes de produção piloto. O sistema é capaz de processar todas as matrizes, wafer e wafers parciais de até 200 mm (8 ″) de diâmetro usando um portador dedicado. Tal como acontece com o equipamento Logitech CMP anterior, modelos e calços podem ser utilizados ou as amostras podem ser montadas diretamente nos suportes de amostra.

     

    
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